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粉塵可以通過水粘結而聚結增大，但那些最細小的粉塵只有當水滴很小（如干霧）或加入化學劑（如表面活性劑）減小水表面張力時才會聚結成團。如果水霧顆粒直徑大于粉塵顆粒，那么粉塵僅隨水霧顆粒周圍氣流而運動，水霧顆粒和粉塵顆粒接觸很少或者根本沒有機會接觸，則達不到抑塵作用；如果水霧顆粒與粉塵顆粒大小接近，粉塵顆粒隨氣流運動時就會與水霧顆粒碰撞、接觸而粘結一起。水霧顆粒越小，聚結機率則越大，隨著聚結的粉塵團變大加重，從而很容易降落。水霧對粉塵的“捕捉”作用就形成了。

微米級干霧抑塵設備是由壓縮空氣驅動的聲波震蕩器，通過高頻聲波將水高度霧化，從而形成上千上萬個1-10μm大小的水霧顆粒，壓縮氣流通過噴頭共振室將水霧顆粒以柔軟低速的霧狀方式噴射到粉塵發生點，粉塵聚結而墜落，達到抑塵目的。

同時，干霧還具有加濕、降溫的功效。例如在2010年上海世博會上美國館和日本館就是用了干霧來給室內加濕、降溫。